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平面分光鏡為一個薄窗片加鍍膜組成。一個光束進入,兩個分開的光束沿著不同的光路傳播,而光路取決於分光鏡的厚度和入射角,反射或穿透量能可依需求作鍍膜設計達成需求。
立體分光鏡為兩個或兩各以上之棱鏡加鍍膜膠合組成。其應用原理與平面分光鏡大同小異,唯裝配精度易於達成達系統成需求。

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