真空吸着基板
石英基板-石英材质真空吸着基板专业制造商
石英基板-石英材质真空吸着基板专业制造商石英材质被广泛应用于光学及光电产业，因为高纯度、无杂质、无气泡等级的石英材料具有优异的UV波段光学穿透性能，再加上具有耐腐蚀与耐高温的特性，常应用于UV波段之曝光系统元件。裕群光电专营Fused Silica熔融石英、Synthetic Quartz合成石英材质、Sapphire蓝宝石、超白玻璃材质、SodaLime商用青板玻璃材质、陶瓷材质、SiC碳化矽材质(碳化硅)所制成之吸真空基板，品质优良高效率，致力提供您更好的石英材质基板。
石英基板/石英材质真空吸着基板的外型塑造须历经CNC成型、光学研磨、光学抛光、贴合、金属机构件、真空吸着管路组装等生产过程，透过严谨的制造工序与过程，成就出品质优异的石英材质基板产品。
产品特色：
- 圆型产品抛光尺寸可达直径5000mm，方型产品抛光尺寸可达3500mm x 3500mm
- 提供可见光波段产品，亦可选用光学玻璃材质制作高精度石英基板
- 石英材质基板适用于UV紫外光波段，具UV紫外光波段高穿透特性，可大幅减低UV能量耗损
- 石英材质具有低膨胀系数的特性，相较于一般玻璃更不易变型
- 高精度石英基板平行度可达秒级，平坦度可达2um（视材质、尺寸、形状、厚度而定）
- 小尺寸石英基板吸着沟槽宽度可小至300um、沟槽深度可达200um
- 大尺寸石英基板吸着沟槽可做抛光处理
- 长方型的石英基板也可以研磨抛光
- 可使用胶合方式固定通气流道及通气管路
