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精密光學平板玻璃經過高精度的研磨拋光,因此具有良好的表面平坦度,是干涉測量、成像系統、雷射應用、自動校準的最佳選擇。

精密光學平板玻璃大多採用低膨脹系數的材質,例如:ZERODUR零膨脹微晶玻璃、CLEARCERAM™-Z零膨脹微晶玻璃、Fused Silica熔融石英,ZERODUR是德國SCHOTT開發的黃色微晶陶瓷玻璃,在注重溫度波動的應用中可提供良好的熱穩定性,Fused Silica熔融石英則具備透光性、較高的耐磨性、耐久性,在惡劣的使用環境中,或磨損為主要因素的應用中,Fused Silica熔融石英是相當理想的選擇。


精密光學平板玻璃(標準片)規格表

材料 ZERODUR零膨脹微晶玻璃、CLEARCERAM™-Z零膨脹微晶玻璃、Fused Silica熔融石英
尺寸 10mm~310mm
  Low grade General grade High grade
尺寸公差 +/-1mm ±0.5mm ±0.2mm
表面品質 60/40 40/20 20/10
平行度 3’ 1’ 30”
平坦度 1/4λ@ 633nm λ/10 @ 633nm λ/20 @ 633nm

厚度公差

±0.8mm ±0.5mm ±0.1mm