UV曝光機光學
UV曝光機光學設備規劃-給您維修保障的絕佳設備
曝光機是製造微機電、光電、二極體大規模積體電路的關鍵影像轉移設備，原理是利用紫外線通過光罩、底片等圖案模版，並搭配顯影劑使用，去除晶圓表面的光阻，以形成積體電路圖案，在生產積體電路的過程中，利用專屬波長的雷射和類似投影機原理，進行步進式曝光機或掃描式曝光機，以獲得比模板更小的曝光圖樣。裕群光電所提供的曝光機能將積體電路線路圖案轉移到晶片上去，且轉移的線路尺寸已達奈米的精準等級。
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![UV曝光機鏡片性能檢測]( "UV曝光機鏡片性能檢測")
UV曝光機鏡片性能檢測
(可對應波段範圍：200nm以上)
裕群光電自行開發專用軟體及專利量測儀器，客戶不需將設備移出廠外，只需由本公司專業服務人員攜帶檢測儀器至現地，即可將設備進行現場量測分析，透過科學量測與數據分析，可立即判斷鏡片性能是否有異常或老化現象，判斷結果可作為設備保養維修及鏡片更換之參考，此量測服務近3年來已獲得國內外眾多知名企業肯定，此鏡片性能檢測運用於半導體產業、封裝測試產業、PCB印刷電路板產業、LCD面板產業量測實績已達350台以上。
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![UV曝光機光學系統異常分析]( "UV曝光機光學系統異常分析")
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![UV曝光機光學鏡片逆向工程]( "UV曝光機光學鏡片逆向工程")
UV曝光機光學鏡片逆向工程
本公司具備完整的光學量測儀器，可分析鏡片材質、鏡片光譜、鍍膜光譜、鏡片尺寸、鏡片焦距、鏡片精度等參數，並可配合光學模擬軟體重新建構光學路徑，以驗證鏡組量測誤差，可大幅縮短研發時程、降低失敗風險及研發成本。
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![UV曝光機光學鏡片產品]( "UV曝光機光學鏡片產品")
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![UV曝光機鏡片性能提昇]( "UV曝光機鏡片性能提昇")
UV曝光機鏡片性能提昇
（一）本公司可透過鏡片精度優化，提昇鏡組解析度。
（二）本公司可透過薄膜設計及鍍膜優化，增加鏡片之反射率反穿透率，以達到能量提昇之目的。
（三）本公司可將光學鏡片重新設計，使其均勻度優化。 -
![UV低壓汞燈散射光拋物面反射鏡片]( "UV低壓汞燈散射光拋物面反射鏡片")
UV低壓汞燈散射光拋物面反射鏡片
裕群光電成功開發UV低壓汞燈散射光源之拋物面耐高溫玻璃反射鏡片，此產品於凹面拋物面鍍上UV冷光反射膜，汞燈發散之熱能可直接穿透鏡片，可大幅降低照射區域溫度，也因此不易造成軟性塑膠或塑膠膜變型及熱縮，此產品配合UV Pass濾光鏡一起運用效果更佳，此產品大量運用於印刷產業UV油墨固化製程、TFT LCD面板貼合固化等製程。
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![UV Pass濾光鏡片]( "UV Pass濾光鏡片")
UV Pass濾光鏡片
UV Pass濾光鏡片只讓UV波段穿透，可將汞燈發散之熱能直接反射回燈箱，可大幅降低照射區域溫度，也因此不易造成軟性塑膠或塑膠膜變型及熱縮，配合UV低壓汞燈拋物面反射鏡一起運用效果更佳，此產品大量運用於印刷產業UV油墨固化製程、TFT LCD面板貼合固化等製程。
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![UV LED散射光模組]( "UV LED散射光模組")
UV LED散射光模組
裕群光電針對散射光模組開發單一波長及多波長混光之UV LED模組，可運於PCB散射光曝光機、TOUCH固化製程、玻璃貼合等製程，可將傳統汞燈光源改為LED光源，可大幅減少汞燈耗材及用電量。產品內容包含：UV LED模組、電源供應器、機構件、電子控制系統、線材等，可依客制化需求規格製作。
裕群光電累積30年以上光學鏡片加工製造經驗，並提供曝光機的設備規劃，為國內少數具有大型研磨拋光加工設備及鍍膜設備的光學鏡片廠商（鏡片拋光直徑可達5公尺），可提供完整的高階光學系統設計、鏡片製造、鏡片安裝、光學路徑調校、曝光能量照度提昇、曝光均勻度調整等服務，能協助設備廠商自主化生產高難度、高精度之光學元件設備，使客戶不再受到國外廠商侷限。裕群光電藉由曝光機及相關設備的製造與維修國產化，為台灣產業開創在地化服務，以協助國內廠商提升設備使用彈性、提升產速並大幅降低維修成本，促進上下游光學關鍵零組件在地化發展。
國內Semiconductor半導體曝光製程設備、TFT LCD面板曝光製程設備、PCB印刷電路板曝光製程設備、Touch Panel觸控面板曝光製程設備及相關光學零件，現階段多數直接向國外設備商ASML、Nikon、Canon、ULTRATECH、SUSS MicroTec、NSK、HITACHI、ORC、TOPCON、Hakuto、Csun、CBT等購買，光學系統的保養維修長期受限於國外原廠約束，因此裕群光電希望能解決儀器進口的各樣限制。
近年來曝光製程快速發展，UV曝光機設備使用者除了產能、產速壓力不斷攀升外，也大大提升曝光機設備的市場需求，因此在設備老化後的維修費用、維修即時性、維修自主性就成為UV曝光機公司競爭力的關鍵，為加強曝光機設備利用率與成本控管，對於曝光機設備關鍵光學元件在地化的需求急速增加。有鑑於此，裕群光電配合客戶在台灣建立光學元件供應鍵，開發高階UV曝光機設備、鏡片及光學元件，成為擁有自主維修技術的光學鏡頭廠商，近10年來已成功開發多項國際知名品牌高階曝光機設備鏡頭，可提供UV曝光機鏡片、鏡頭等相關設備的新品設計開發、中古設備改造及中古設備舊品翻修等服務，來滿足各產業對UV曝光機的需求，更幫助製造生產的效率提升。