UV曝光机光学系统异常分析

由本公司专业服务人员携带仪器、量具等工具至客户端设备进行现场量测分析，可分析项目：能量均匀度不佳造成落曝或过曝现象，光角徧移造成曝光线路之CD线宽、线距改变等异常状况。

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(可对应波段范围：200nm以上) 裕群光电自行开发专用软体及专利量测仪器，客户不需将设备移出厂外，只需由 ...