UV露光機光学システム異常分析
弊社の専門サービス人員が、器具や計器などの工具を持参し、お客様側の設備現場で計量分析を行います。分析可能項目：エネルギー均一度が悪い故の露出オーバー現象、光角遷移による露光線路のCD線幅、直線距離変更などの異常状況。
弊社の専門サービス人員が、器具や計器などの工具を持参し、お客様側の設備現場で計量分析を行います。分析可能項目：エネルギー均一度が悪い故の露出オーバー現象、光角遷移による露光線路のCD線幅、直線距離変更などの異常状況。
