UV曝光机光学系统改造
(一)曝光面積重新設計:
当产品尺寸变更时,有些设备无法配合产品尺寸进行曝光区域变更,因此损失部分能量于无效区,本公司可依需求尺寸将光学镜片重新设计,使其曝光区域与产品尺寸相互搭配,减少能量损失,提昇产速产能。
(二)均勻度提昇:
当产品精度变更时,有些设备之均匀度无法满足产品精度之要求,本公司可依均匀度U%需求,重新设计镜片,以提昇均匀度及曝光线路品质。
(三)光譜改造:
当光阻材料变更时,有些设备之光谱无法完全搭配材料的化学反应所需波长,本公司可依不同之材料吸收光谱,重新设计镜片及镀膜,使最终光谱符合材料吸收特性。