雷射反射镜
高能量准分子雷射对于反射镜镜片基板的表面加工精度非常要求,裕群光电针对雷射光专用之光学镜片,材料选用紫外线级熔融石英基材,并经过特别的优选,并且于抛光加工时对于基板粗糙度、规则度进行严苛的控制,製造出热稳定性高、耐用度高与低波前畸变的基板。
此雷射等级的高品质基材,最高S/D可达 10-5的表面光洁度品质,反射镀膜层可依客户需求波长设计,提供指定波段最佳的反射率,基板的表面与介电质薄膜紧密结合,可承受极高的雷射损伤阈值,本产品适用于各种型式的雷射源,可将散射损失降到最低且具有出色的耐用度表现。
規格表
| 材料 | 石英Fused silica、蓝宝石Sapphire、客户指定材料 |
| 尺寸 | 2mm~1800mm |
| 曲率半径 | 依客户指定 |
| Low grade | General grade | High grade | |
| 尺寸公差 | +/-0.1 | ±0.05mm | ±0.01mm |
| 表面品质S/D | 40/20 | 20/10 | 10/5 |
| 面精度 | 1/4λ | 1/4λ | 1/10λ |
| 曲率半径公差 | R/300 | R/500 | R/1000 |
| 厚度公差 | +/-0.1 | ±0.05mm | ±0.01mm |
| 有效区域 | 90% | 95% | 100% |
| 偏心量 | 1' | 30'' | 15'' |
| 镀膜 | 多层介电质膜 依客户指定光谱镀膜 |
多层介电质膜 依客户指定光谱镀膜 |
多层介电质膜 依客户指定光谱镀膜 |